提供哪些技术资料？

以 PDF 形式公开支持 MFF-M PFPE 磁流体耐热性、蒸气压与真空稳定性的资料。蒸气压由韩国高分子试验研究院（KOPTRI）依据 OECD TG 104 逸出法测定，耐热性由韩国生产技术研究院（KITECH）以 TGA 测定。可阅览并下载综合资料、技术手册、蒸气压技术说明、试验结果以及活性与惰性气体的 TGA 原始数据。

蒸气压采用什么方法测定？

蒸气压极低的材料无法用普通压力计直接测量。需在真空 TGA 中于等温条件下观察失重以求得蒸发速率，再通过回归分析推算常温蒸气压。OECD TG 104 逸出法即规定了该流程。

耐热性如何确认？

以 TGA（热重分析）按每分钟 10℃ 升温测定各温度下的失重，并以 DTA 同步观察吸热与放热行为。以失重 1wt% 的温度作为可用温度的基准。实际使用温度会随转速、轴径与运行时间而变化。

为什么蒸气压数据很重要？

半导体工艺通常在 10⁻⁶ Pa 以下进行。若腔体内材料自身气化，将限制可达真空度，并导致颗粒生长、图形污染与薄膜不均，直接影响良率。因此需要的是定量的合格判据，而非笼统的"低蒸气压"说法。

资料可以直接下载吗？

本页资料无需注册即可直接阅览与下载。如需针对特定工艺条件的评估或补充数据，请与我们联系。