产品
有害气体及粉尘阻隔用磁流体
Ferrofluid for Corrosive Gas & Dust Blocking
针对旋转轴周围产生的有害气体泄漏、外部粉尘侵入及真空度下降问题，采用基于磁流体的非接触密封结构进行阻隔。保持在磁场中的磁流体在允许旋转运动的同时，稳定阻止气体、粉尘及污染物的迁移。
非接触密封
磁场中的磁流体形成液态 O 型圈状密封膜。
有害气体·粉尘阻隔
稳定阻隔活性·非活性气体及粉尘的迁移。
保持高真空
真空抽气时间短，并保持稳定的真空度。
长寿命·无磨损
无机械摩擦，颗粒产生少，使用寿命长。
磁流体密封解决什么问题？
磁流体密封在旋转轴周围形成由磁场固定的液态 O 型圈，即使轴持续旋转也能阻隔有害气体泄漏、粉尘侵入与真空度下降。腐蚀性气体用 MFF·MFF-M（PFPE 系列）在 20℃ 下蒸气压低于 1.5×10⁻¹⁰ Pa、1wt% 失重温度高于 280℃；非腐蚀性气体则提供 MFS（硅系）·MFH（碳氢系）系列。
- 腐蚀性气体环境应选用哪种产品？
- 为 MFF·MFF-M 系列。采用全氟聚醚（PFPE）作为载液，具备化学稳定性与低蒸气压，可抑制半导体·显示工艺活性气体管线上的旋转轴泄漏与腐蚀。
- 与机械密封相比有何不同？
- 磁流体密封无接触摩擦，因此磨损与颗粒产生少、使用寿命长。泄漏测试数据亦显示抽真空时间短且真空度保持稳定。
- 耐热性与蒸气压是如何验证的？
- 耐热性由韩国生产技术研究院（KITECH）以 TGA·DTA 在每分钟升温 10℃ 的条件下测定，蒸气压由韩国高分子试验研究院（KOPTRI）依据 OECD TG 104 逸出法测定。测定资料与试验结果可在技术信息页面以 PDF 阅览。
- 与竞争产品相比如何？
- 以活性气体用 PFPE 为准，本公司 MFF-M 系列的 1wt% 失重温度在 280℃ 以上。在相同 TGA 条件下，日本 S 公司（F-310）、日本 M 公司（MFF-03）、英国 L 公司（F-9）为 158~185℃，相差约 100℃。需说明的是，他社数值为基础油测定值，本公司为成品测定值，测定条件并不完全一致。
腐蚀性气体用磁流体
活性（腐蚀性）气体阻隔
在腐蚀性气体环境中，采用全氟聚醚（PFPE）系列作为载液（Carrier Fluid），以确保化学稳定性与低蒸气压特性。可抑制半导体·显示工艺活性气体管线上的旋转轴泄漏与腐蚀。
- Ferrofluid For Corrosive Gas适用于活性（腐蚀性）气体环境
- Carrier fluidPerfluoro-Polyether (PFPE)
规格（MFF / MFF-M 系列）
| Model | Saturation Magnetization | Viscosity | Vapor Pressure | Helium gas leak (Torr·L/s) | 1 wt% loss Temp. (TGA) | Pour point | Density | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Gauss | mPa·s (cP) at 27℃ | Pa at 20℃ | Torr (mmHg) at 20℃ | Less than 1E-11 | ℃ | ℃ | g/cm³ | |
| MFF-M4251 | 420 | 5,100 | <1.5E-10 | <1.2E-12 | Ok | >280 | <-40 | 2.198 |
| MFF-M5070 | 500 | 7,000 | <1.5E-10 | <1.2E-12 | Ok | >280 | <-40 | 2.240 |
| MFF-R6085 | 600 | 8,500 | <1.5E-10 | <1.2E-12 | Ok | >140 | <-40 | 2.25 |
| MFF-R5050 | 500 | 5,000 | <1.5E-10 | <1.2E-12 | Ok | >140 | <-40 | 2.2 |
| MFF-R4020 | 400 | 2,000 | <1.5E-10 | <1.2E-12 | Ok | >140 | <-40 | 2.14 |
- 测量条件依据各列的单位标注（粘度 27℃、蒸气压 20℃）。
- 蒸气压由韩国高分子试验研究院（KOPTRI）依据 OECD TG 104 逸出法测定，测定资料可在技术信息页面查阅。
泄漏测试数据
真空抽气时间短，且真空度保持稳定。
| Model | 测定日期 | Setpoint 1 | Setpoint 2 | 达到稳定所需时间 | 稳定泄漏率 |
|---|---|---|---|---|---|
| Pa·m³/s | Pa·m³/s | 分钟（约） | Pa·m³/s | ||
| MFF-M4251 | 2024-07-03 | 1.0E-07 | 1.0E-12 | 38 | 1E-10 ~ 1E-11 |
| MFF-M5070 | 2024-09-11 | 1.0E-07 | 1.0E-12 | 53 | 1E-10 ~ 1E-11 |
- 无检漏波动，稳定收敛，收敛后真空度保持恒定。
- 下方图表为本表所依据的仪器原始记录。
非腐蚀性气体用磁流体
非活性（非腐蚀性）气体阻隔
在非腐蚀性气体环境中，可根据运行条件选择粘度·饱和磁化强度·温度特性及载液（Carrier Fluid）。MFS 系列以 Silicon（硅）系为基础，MFH 系列以 Hydrocarbon（碳氢）系为基础。
- Ferrofluid For Non-Corrosive Gas适用于非活性（非腐蚀性）气体环境
- Carrier fluidMFS 系列 – Silicon / MFH 系列 – Hydrocarbon
规格（MFS / MFH 系列）
| Model | Saturation Magnetization | Viscosity | Vapor Pressure | Helium gas leak (Torr·L/s) | 1 wt% loss Temp. (TGA) | Pour point | Density | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Gauss | mPa·s (cP) at 27℃ | Pa at 20℃ | Torr (mmHg) at 20℃ | Less than 1E-11 | ℃ | ℃ | g/cm³ | |
| MFS-7390 | 730 | 9,000 | <5E-11 | <3.75E-13 | Ok | 200 | <-40 | 1.50 |
| MFS-6022 (MFS-630) | 600 | 2,200 | <5E-11 | <3.75E-13 | Ok | 200 | <-40 | 1.39 |
| MFS-5009 (MFS-513) | 500 | 900 | <5E-11 | <3.75E-13 | Ok | 200 | <-40 | 1.31 |
| MFS-4005 (MFS-407) | 400 | 500 | <5E-11 | <3.75E-13 | Ok | 200 | <-40 | 1.21 |
| MFH-7730 | 770 | 3,000 | <5E-11 | <3.75E-13 | Ok | 170 | <-40 | 1.52 |
| MFH-6206 | 620 | 650 | <5E-11 | <3.75E-13 | Ok | 170 | <-40 | 1.39 |
| MFH-5002 (MFH-503) | 500 | 210 | <5E-11 | <3.75E-13 | Ok | 170 | <-40 | 1.30 |
| MFH-4401 | 440 | 150 | <5E-11 | <3.75E-13 | Ok | 170 | <-40 | 1.22 |
- 测量条件依据各列的单位标注（粘度 27℃、蒸气压 20℃）。
- 蒸气压由韩国高分子试验研究院（KOPTRI）依据 OECD TG 104 逸出法测定，测定资料可在技术信息页面查阅。
TGA & DTA 测定
热稳定性 (Thermal Stability)
通过 TGA（热重分析）与 DTA（差热分析）分析随温度变化的失重与热行为，评估载液（Carrier Fluid）的稳定性及可用温度范围。
Ferrofluid Seal
什么是磁流体密封（Ferrofluid Seal）？
磁流体应用设备及领域
公司信息
| 地址 | (15588) 韩国京畿道安山市常绿区海岸路705 京畿科技园3栋403号 |
|---|---|
| 联系方式 | TEL) 031-500-4633 FAX) 031-500-4631 |
| 电子邮箱 | magron@magron.co.kr |
| 网站 | (KO) www.ferrofluidmagron.co.kr (EN) www.ferrofluidmagron.com |