300℃에서 중량손실은 얼마인가요?

같은 TGA 조건에서 MFF-M4251은 −1.450%, MFF-M5070은 −1.560%입니다. 같은 조건의 타사 PFPE 베이스오일은 −21.1~−34.6%였습니다. 타사 값은 베이스오일, 당사 값은 완제품 측정값입니다.

비활성 가스용 자성유체의 내열성은 어떤가요?

KITECH TGA(10℃/min) 기준 1% 중량손실 온도는 실리콘 계열 MFS-4005 196℃, MFS-6022 199℃, 하이드로카본 계열 MFH-5002 168℃입니다. 5% 손실 온도는 각각 251℃, 236℃, 222℃입니다.

반도체 공정에서는 어느 정도 진공도를 쓰나요?

일반적으로 스퍼터링 10⁻⁴~10⁻⁶ Pa, CVD 10⁻³~10⁻⁶ Pa, 식각 10⁻³~10⁻⁵ Pa, 이온 주입 10⁻⁶ Pa 이하, OLED 증착 10⁻⁵~10⁻⁷ Pa 범위입니다. 이온 주입과 OLED 증착은 증기압 관리가 특히 중요합니다.

Technical data

자성유체 기술 데이터: 증기압·TGA·누설 시험값

기술정보 PDF에 흩어져 있던 시험값을 한 화면에 표로 정리했습니다. 시험기관, 시험법, 측정 대상을 값마다 함께 적었습니다.

MFF-M 자성유체의 증기압과 내열성 시험값은 얼마인가요?

MFF-M4251 완제품의 증기압은 20℃ 1.51×10⁻¹⁰ Pa, 25℃ 4.20×10⁻¹⁰ Pa, 100℃ 7.57×10⁻⁵ Pa입니다(KOPTRI 시험성적서 No. 25-09458, OECD TG 104). KITECH TGA(10℃/min)에서 1%·2%·5% 중량손실 온도는 282·310·324℃, 헬륨 누설율은 1×10⁻¹¹ Torr·ℓ/s 미만입니다.

300℃에서 중량손실은 얼마인가요?: 같은 TGA 조건에서 MFF-M4251은 −1.450%, MFF-M5070은 −1.560%입니다. 같은 조건의 타사 PFPE 베이스오일은 −21.1~−34.6%였습니다. 타사 값은 베이스오일, 당사 값은 완제품 측정값입니다.
비활성 가스용 자성유체의 내열성은 어떤가요?: KITECH TGA(10℃/min) 기준 1% 중량손실 온도는 실리콘 계열 MFS-4005 196℃, MFS-6022 199℃, 하이드로카본 계열 MFH-5002 168℃입니다. 5% 손실 온도는 각각 251℃, 236℃, 222℃입니다.
반도체 공정에서는 어느 정도 진공도를 쓰나요?: 일반적으로 스퍼터링 10⁻⁴~10⁻⁶ Pa, CVD 10⁻³~10⁻⁶ Pa, 식각 10⁻³~10⁻⁵ Pa, 이온 주입 10⁻⁶ Pa 이하, OLED 증착 10⁻⁵~10⁻⁷ Pa 범위입니다. 이온 주입과 OLED 증착은 증기압 관리가 특히 중요합니다.

시험법·시험기관

MFF-M4251 온도별 증기압 (KOPTRI 시험성적서 No. 25-09458, OECD TG 104 유출법)

온도	증기압 (Pa)	증기압 (Torr)
20℃	1.51 × 10⁻¹⁰ Pa	1.13 × 10⁻¹² Torr
25℃	4.20 × 10⁻¹⁰ Pa	—
100℃	7.57 × 10⁻⁵ Pa	5.68 × 10⁻⁷ Torr
200℃	1.97 Pa	1.48 × 10⁻² Torr

측정 대상: 완제품 자성유체

PFPE 자성유체 증기압 비교

제품	측정 대상	20℃	100℃
MAGRON MFF-M4251	완제품	1.51 × 10⁻¹⁰ Pa	7.57 × 10⁻⁵ Pa
일본 S사 F-310	—	7 × 10⁻⁸ Pa	자료 없음
일본 M사 MFF-03	베이스오일만	2 × 10⁻⁹ Pa	5 × 10⁻³ Pa
영국 L사 F-9	베이스오일만	7 × 10⁻⁸ Torr	1 × 10⁻³ Torr

타사 수치는 각 사 공개 자료 기준이며, 일본 M사·영국 L사는 베이스오일만 측정한 값입니다. 당사는 완제품 측정값이라 측정 조건이 같지 않습니다.

활성 가스용 PFPE 자성유체 중량손실 온도 (KITECH TGA, 10℃/min 승온)

제품	자화 / 점도 (27℃)	1% 손실	2% 손실	5% 손실	300℃ 중량손실
MAGRON MFF-M4251	420 G / 5,100 cP	282℃	310℃	324℃	−1.450 %
MAGRON MFF-M5070	500 G / 7,000 cP	280℃	305℃	323℃	−1.560 %
영국 L사 F-9	450 G / 5,000 cP	176℃	201℃	233℃	−21.856 %
일본 M사 MFF-03	550 G / 6,200 cP	185℃	210℃	237℃	−34.648 %
일본 S사 F-310	400 G / 3,500 cP	158℃	194℃	241℃	−21.148 %

같은 TGA 조건에서 측정했으며, 타사 수치는 베이스오일 기준입니다.

온도별 중량손실 (KITECH TGA, 10℃/min)

제품	50℃	100℃	150℃	200℃	250℃	300℃
MFF-M4251	−0.010 %	−0.090 %	−0.240 %	−0.400 %	−0.660 %	−1.450 %
MFF-M5070	−0.020 %	−0.400 %	−0.360 %	−0.650 %	−0.880 %	−1.560 %

등온 시험 잔존 중량 (KITECH TGA, 100℃ 1시간 → 150℃ 1시간)

제품	100℃ × 1시간 후	150℃ × 1시간 후
MAGRON MFF-M4251	99.84 %	99.74 %
영국 L사 F-9	—	96.53 %

비활성 가스용 자성유체 중량손실 온도 (KITECH TGA, 10℃/min, Ref. 240321-01)

제품	베이스 오일	자화 / 점도 (27℃)	1% 손실	2% 손실	5% 손실
MAGRON MFS-4005	실리콘	400 G / 500 cP	196℃	220℃	251℃
MAGRON MFS-6022	실리콘	600 G / 2,200 cP	199℃	214℃	236℃
MAGRON MFH-5002	하이드로카본	500 G / 210 cP	168℃	192℃	222℃
일본 M사 MFA-06	알킬나프탈렌	580 G / 300 cP	148℃	192℃	232℃
영국 L사 H9LT	하이드로카본	400 G / 300 cP	184℃	216℃	248℃

MFF-M 시리즈 사양

항목	MFF-M4251	MFF-M5070
베이스 오일	PFPE	PFPE
포화 자화	420 G	500 G
점도 (27℃)	5,100 cP	7,000 cP
밀도	2.198 g/cm³	2.240 g/cm³
유동점	< −40℃	< −40℃
1wt% 중량손실 온도	> 280℃	> 280℃
헬륨 누설율 (KITECH)	< 1 × 10⁻¹¹ Torr·ℓ/s	< 1 × 10⁻¹¹ Torr·ℓ/s
가스·분진 밀봉 시험	통과	통과

공정별 운전 진공도와 증기압 관리 중요도

공정	운전 진공도	증기압 관리 중요도
스퍼터링	10⁻⁴ – 10⁻⁶ Pa	높음
CVD	10⁻³ – 10⁻⁶ Pa	높음
식각	10⁻³ – 10⁻⁵ Pa	중간
이온 주입	≤ 10⁻⁶ Pa	매우 높음
OLED 증착	10⁻⁵ – 10⁻⁷ Pa	매우 높음

일반적인 공정 범위이며 장비·레시피에 따라 달라집니다.

측정·환산 방법

증기압: 진공 TGA로 등온 조건의 증발 속도를 구한 뒤 Langmuir(Hertz–Knudsen) 식 P = (dm/dt)·(1/α)·(2πRT/M)^½ 로 환산하고, ln P = A − B/T(Arrhenius) 직선화로 사용 온도의 값을 외삽합니다.
내열성: TGA로 분당 10℃씩 승온하며 무게가 1%·2%·5% 줄어드는 온도를 측정합니다. 실제 사용 온도는 회전 속도, 축 지름, 운전 시간에 따라 달라집니다.
참고 기준: 미국 우주·반도체 분야의 아웃가싱 기준 ASTM E595는 125℃·24시간에서 TML 1.0% 이하, CVCM 0.10% 이하를 요구합니다.

원본 자료 (PDF)

시험성적서와 TGA 원자료 그래프는 기술정보 화면에서 PDF로 열람·다운로드할 수 있습니다.

기술정보로 돌아가기 →