어떤 기술자료를 제공하나요?

MFF-M PFPE 자성유체의 내열성·증기압·진공 안정성을 뒷받침하는 자료를 PDF로 공개합니다. 증기압은 한국고분자시험연구원(KOPTRI)에서 OECD TG 104 유출법으로, 내열성은 한국생산기술연구원(KITECH)에서 TGA로 측정했습니다. 종합자료·기술 브로슈어·증기압 기술노트·시험 결과·활성 및 불활성 가스 TGA 원자료를 열람하고 내려받을 수 있습니다.

증기압은 어떤 방법으로 측정하나요?

증기압이 매우 낮은 소재는 일반 압력계로 직접 잴 수 없습니다. 진공 TGA로 등온 조건에서 무게 손실을 관찰해 증발 속도를 구한 뒤, 회귀분석으로 상온 증기압을 산출합니다. OECD TG 104 유출법이 이 절차를 규정한 시험법입니다.

내열성은 어떻게 확인하나요?

TGA(열중량분석)로 분당 10℃씩 승온하며 온도별 무게 손실을 측정하고, DTA로 흡열·발열 반응을 함께 봅니다. 무게가 1wt% 줄어드는 온도를 사용 가능 온도의 기준으로 삼습니다. 실제 사용 온도는 회전 속도, 축 지름, 운전 시간에 따라 달라집니다.

왜 증기압 데이터가 중요한가요?

반도체 공정은 통상 10⁻⁶ Pa 이하 초고진공에서 진행됩니다. 챔버 안의 소재가 스스로 기화하면 달성 가능한 진공도가 제한되고, 파티클 성장·패턴 오염·박막 불균일로 이어져 수율에 직접 영향을 줍니다. 그래서 정성적인 "저증기압"이 아니라 정량적인 합격 기준이 필요합니다.

자료를 바로 받을 수 있나요?

이 페이지의 자료는 회원가입 없이 바로 열람하고 내려받을 수 있습니다. 특정 공정 조건에 대한 검토나 추가 데이터가 필요하시면 문의해 주시기 바랍니다.