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유해가스 및 분진 차단용 자성유체
Ferrofluid for Corrosive Gas & Dust Blocking
회전축 주변에서 발생하는 유해가스 누출, 외부 분진 유입, 진공도 저하 문제를 자성유체 기반 비접촉 씰링 구조로 차단합니다. 자기장 안에 유지되는 자성유체가 회전 운동을 허용하면서도 가스·분진·오염물의 이동을 안정적으로 막아줍니다.
비접촉 밀봉
자기장 안의 자성유체가 액체 O-ring 형태의 씰링막을 형성합니다.
유해가스·분진 차단
활성·비활성 가스와 분진의 이동을 안정적으로 차단합니다.
고진공 유지
진공 배기 시간이 짧고 진공도를 일정하게 유지합니다.
긴 수명 · 무마모
기계적 마찰이 없어 파티클 발생이 적고 수명이 깁니다.
자성유체 씰은 어떤 문제를 해결하나요?
자성유체 씰은 회전축 둘레에 자기장으로 붙잡힌 액체 O-ring을 만들어, 축이 도는 동안에도 유해가스 누출과 분진 유입, 진공도 저하를 막습니다. 부식성 가스용 MFF·MFF-M(PFPE 계열)은 20℃ 증기압 1.5×10⁻¹⁰ Pa 이하, 1wt% 중량손실 온도 280℃ 이상이며, 비부식성 가스용으로는 MFS(실리콘)·MFH(하이드로카본) 시리즈를 공급합니다.
- 부식성 가스 환경에는 어떤 제품을 쓰나요?
- MFF·MFF-M 시리즈입니다. Carrier Fluid로 Perfluoro-Polyether(PFPE)를 사용해 화학적 안정성과 낮은 증기압을 확보하며, 반도체·디스플레이 공정의 활성 가스 라인에서 회전축 누설과 부식을 억제합니다.
- 기계식 씰과 비교하면 무엇이 다른가요?
- 자성유체 씰은 접촉 마찰이 없어 마모와 파티클 발생이 적고 수명이 깁니다. 진공 배기 시간이 짧고 진공도가 일정하게 유지되는 점도 리크 테스트 데이터로 확인할 수 있습니다.
- 내열성과 증기압은 어떻게 검증했나요?
- 내열성은 한국생산기술연구원(KITECH)에서 TGA·DTA로 분당 10℃ 승온 조건으로 측정했고, 증기압은 한국고분자시험연구원(KOPTRI)에서 OECD TG 104 유출법으로 측정했습니다. 측정 자료와 시험 결과는 기술정보 페이지에서 PDF로 열람할 수 있습니다.
- 경쟁 제품과 비교하면 어떤가요?
- 활성 가스용 PFPE 기준으로 당사 MFF-M 시리즈는 1wt% 중량손실 도달 온도가 280℃ 이상입니다. 같은 TGA 조건에서 일본 S사(F-310)·일본 M사(MFF-03)·영국 L사(F-9)는 158~185℃로 약 100℃ 차이가 납니다. 다만 타사 수치는 베이스오일 기준, 당사는 완제품 기준 측정값이라 측정 조건이 동일하지는 않습니다.
Corrosive Gas용 자성유체
활성(부식성) 가스 차단
부식성 가스 환경에서는 Carrier Fluid로 Perfluoro-Polyether(PFPE) 계열을 사용하여 화학적 안정성과 낮은 증기압 특성을 확보합니다. 반도체·디스플레이 공정의 활성 가스 라인에서 회전축 누설과 부식을 억제합니다.
- Ferrofluid For Corrosive Gas활성(부식성) 가스 환경용
- Carrier fluidPerfluoro-Polyether (PFPE)
Specification (MFF / MFF-M Series)
| Model | Saturation Magnetization | Viscosity | Vapor Pressure | Helium gas leak (Torr·L/s) | 1 wt% loss Temp. (TGA) | Pour point | Density | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Gauss | mPa·s (cP) at 27℃ | Pa at 20℃ | Torr (mmHg) at 20℃ | Less than 1E-11 | ℃ | ℃ | g/cm³ | |
| MFF-M4251 | 420 | 5,100 | <1.5E-10 | <1.2E-12 | Ok | >280 | <-40 | 2.198 |
| MFF-M5070 | 500 | 7,000 | <1.5E-10 | <1.2E-12 | Ok | >280 | <-40 | 2.240 |
| MFF-R6085 | 600 | 8,500 | <1.5E-10 | <1.2E-12 | Ok | >140 | <-40 | 2.25 |
| MFF-R5050 | 500 | 5,000 | <1.5E-10 | <1.2E-12 | Ok | >140 | <-40 | 2.2 |
| MFF-R4020 | 400 | 2,000 | <1.5E-10 | <1.2E-12 | Ok | >140 | <-40 | 2.14 |
- 측정 조건은 각 열의 단위 표기를 따릅니다 (점도 27℃, 증기압 20℃ 기준).
- 증기압은 한국고분자시험연구원(KOPTRI)에서 OECD TG 104 유출법으로 측정했으며, 측정 자료는 기술정보 페이지에서 확인할 수 있습니다.
Leak Test Data
진공 배기 시간이 짧으며, 진공도도 일정하게 유지되고 있습니다.
| Model | 측정일 | Setpoint 1 | Setpoint 2 | 수렴까지 걸린 시간 | 수렴 리크율 |
|---|---|---|---|---|---|
| Pa·m³/s | Pa·m³/s | 분 (약) | Pa·m³/s | ||
| MFF-M4251 | 2024-07-03 | 1.0E-07 | 1.0E-12 | 38 | 1E-10 ~ 1E-11 |
| MFF-M5070 | 2024-09-11 | 1.0E-07 | 1.0E-12 | 53 | 1E-10 ~ 1E-11 |
- 리크헌팅 없이 안정적으로 수렴하며, 수렴 후에는 진공도가 일정하게 유지됩니다.
- 아래 차트는 위 표의 근거가 되는 측정기 원본 기록입니다.
Non-Corrosive Gas용 자성유체
비활성(비부식성) 가스 차단
비부식성 가스 환경에서는 운전 조건에 따라 점도·포화자화·온도 특성과 Carrier Fluid를 선택할 수 있습니다. MFS 시리즈는 Silicon 계열, MFH 시리즈는 Hydrocarbon 계열을 기반으로 합니다.
- Ferrofluid For Non-Corrosive Gas비활성(비부식성) 가스 환경용
- Carrier fluidMFS 시리즈 – Silicon / MFH 시리즈 – Hydrocarbon
Specification (MFS / MFH Series)
| Model | Saturation Magnetization | Viscosity | Vapor Pressure | Helium gas leak (Torr·L/s) | 1 wt% loss Temp. (TGA) | Pour point | Density | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Gauss | mPa·s (cP) at 27℃ | Pa at 20℃ | Torr (mmHg) at 20℃ | Less than 1E-11 | ℃ | ℃ | g/cm³ | |
| MFS-7390 | 730 | 9,000 | <5E-11 | <3.75E-13 | Ok | 200 | <-40 | 1.50 |
| MFS-6022 (MFS-630) | 600 | 2,200 | <5E-11 | <3.75E-13 | Ok | 200 | <-40 | 1.39 |
| MFS-5009 (MFS-513) | 500 | 900 | <5E-11 | <3.75E-13 | Ok | 200 | <-40 | 1.31 |
| MFS-4005 (MFS-407) | 400 | 500 | <5E-11 | <3.75E-13 | Ok | 200 | <-40 | 1.21 |
| MFH-7730 | 770 | 3,000 | <5E-11 | <3.75E-13 | Ok | 170 | <-40 | 1.52 |
| MFH-6206 | 620 | 650 | <5E-11 | <3.75E-13 | Ok | 170 | <-40 | 1.39 |
| MFH-5002 (MFH-503) | 500 | 210 | <5E-11 | <3.75E-13 | Ok | 170 | <-40 | 1.30 |
| MFH-4401 | 440 | 150 | <5E-11 | <3.75E-13 | Ok | 170 | <-40 | 1.22 |
- 측정 조건은 각 열의 단위 표기를 따릅니다 (점도 27℃, 증기압 20℃ 기준).
- 증기압은 한국고분자시험연구원(KOPTRI)에서 OECD TG 104 유출법으로 측정했으며, 측정 자료는 기술정보 페이지에서 확인할 수 있습니다.
TGA & DTA 측정
열적 안정성 (Thermal Stability)
TGA(Thermo Gravimetric Analysis)와 DTA(Differential Thermal Analysis)로 온도 변화에 따른 중량 손실과 열적 거동을 분석하여 Carrier Fluid의 안정성과 사용 가능 온도 범위를 평가합니다.
Ferrofluid Seal
자성유체 씰이란?
자성유체 사용 장비 및 분야
Company Information
| 주소 | (15588) 경기도 안산시 상록구 해안로 705 경기테크노파크 3동 403호 |
|---|---|
| 연락처 | TEL) 031-500-4633 FAX) 031-500-4631 |
| 이메일 | magron@magron.co.kr |
| 웹사이트 | (KO) www.ferrofluidmagron.co.kr (EN) www.ferrofluidmagron.com |