어떤 형식이 있나요?

소형 회전 도입기, 관통형 장착, 플랜지 장착, 헤비듀티, 중공축 카트리지·플랜지·캔틸레버 타입을 제공합니다. 3축 동축 스핀들에 50mm 선형 스트로크를 결합한 복합 구동형은 Cluster Tool과 300mm 웨이퍼, LCD 대형 기판 처리, 진공 이송 로봇에 적용됩니다.

주문 제작이 가능한가요?

가능합니다. 축 직경, 회전 속도, 요구 진공도, 플랜지 규격, 사용 가스 종류를 알려주시면 해당 조건에 맞는 사양을 검토해 드립니다.

누설 성능 데이터가 있나요?

헬륨 누설율은 10⁻¹² Pa·m³/s(10⁻¹¹ Torr·ℓ/s) 미만이고 도달 진공도는 10⁻⁶ Pa(10⁻⁸ Torr) 수준이며, 사용 온도 범위는 0~150℃입니다. 모델별 토크 용량과 베어링·하우징·샤프트 재질은 제품 페이지 사양표에서 확인할 수 있습니다.

Products

Feedthrough

Magnetic Fluid Seal 기반 고신뢰성 Vacuum Feedthrough 솔루션

Feedthrough는 진공 챔버 또는 밀폐 장비 내부로 회전 운동, 선형 운동, 가스, 전기 신호 등을 전달하면서도 내부 환경의 진공도와 청정성을 유지하기 위한 핵심 부품입니다.

Magnetic Fluid Seal 기반 Feedthrough는 회전축 주변에 형성된 자성유체 씰링 구조를 통해 가스 누설, 외부 오염물 유입, 분진 유입을 차단합니다. 반도체, 디스플레이, 진공 증착, 이온 주입, 로봇 이송, 항공우주 및 연구장비와 같이 높은 신뢰성과 긴 수명이 요구되는 장비에 적합합니다.

Vacuum Sealing

진공 챔버 내부의 압력과 청정도를 안정적으로 유지합니다.

Rotary Motion Transfer

회전축을 통해 외부 동력을 장비 내부로 전달합니다.

Low Particle Generation

자성유체 씰링 구조로 파티클 발생을 줄입니다.

Custom Specification

축 직경, 회전 속도, 진공도 조건에 맞춘 사양 검토가 가능합니다.

진공 피드스루는 어떤 부품인가요?

진공 챔버 바깥의 회전·직선 운동이나 가스·전기 신호를 챔버 안으로 전달하면서 내부의 진공도와 청정도를 유지하는 부품입니다. (주)마그론의 피드스루는 자성유체 씰로 회전축을 비접촉 밀봉해 누설과 파티클 발생을 함께 줄입니다.

어떤 형식이 있나요?: 소형 회전 도입기, 관통형 장착, 플랜지 장착, 헤비듀티, 중공축 카트리지·플랜지·캔틸레버 타입을 제공합니다. 3축 동축 스핀들에 50mm 선형 스트로크를 결합한 복합 구동형은 Cluster Tool과 300mm 웨이퍼, LCD 대형 기판 처리, 진공 이송 로봇에 적용됩니다.
주문 제작이 가능한가요?: 가능합니다. 축 직경, 회전 속도, 요구 진공도, 플랜지 규격, 사용 가스 종류를 알려주시면 해당 조건에 맞는 사양을 검토해 드립니다.
누설 성능 데이터가 있나요?: 헬륨 누설율은 10⁻¹² Pa·m³/s(10⁻¹¹ Torr·ℓ/s) 미만이고 도달 진공도는 10⁻⁶ Pa(10⁻⁸ Torr) 수준이며, 사용 온도 범위는 0~150℃입니다. 모델별 토크 용량과 베어링·하우징·샤프트 재질은 제품 페이지 사양표에서 확인할 수 있습니다.

제한된 공간에서 회전 운동을 전달하면서 진공 씰링 성능을 유지해야 하는 소형 장비용입니다. 연구용 장비, 소형 진공 챔버, 정밀 구동 모듈 등에 적용합니다.

Standard Type (MML)

Dimensions (mm)

Shaft Diameter	004	005	006
A	Ø4	Ø5	Ø6
E	0.5Dp. / 10Lg.	0.5Dp. / 10Lg.	0.5Dp. / 10Lg.

Specifications

Model Number	MML004NN	MML005NN	MML006NN
Torque capacity (kg·cm)	5.8	6.4	6.4
Vacuum pressure Pa,(Torr)	10⁻⁶, (10⁻⁸)
Leakage rate [He] (Pa·m³/sec)	<10⁻¹²
(Torr·ℓ/sec)	<10⁻¹¹
Pressure capacity [Static] (kg/cm²)	2
Temperature range (°C)	0 – 150
Gas compatibility	Inert Gas
Bearing type	686	686	686
Bearing material	SUS440C
Housing material	SUS303
Shaft material	SUS630

Threaded Type (MSL)

Dimensions (mm)

Shaft Diameter	004	005	006
A	Ø4	Ø5	Ø6
B	76.5	76.5	76.5
E	0.5Dp. / 10Lg.	0.5Dp. / 10Lg.	0.5Dp. / 10Lg.
F	15	15	15

Specifications

Model Number	MSL004NN	MSL005NN	MSL006NN
Torque capacity (kg·cm)	5.8	6.4	6.4
Vacuum pressure Pa,(Torr)	10⁻⁶, (10⁻⁸)
Leakage rate [He] (Pa·m³/sec)	<10⁻¹²
(Torr·ℓ/sec)	<10⁻¹¹
Pressure capacity [Static] (kg/cm²)	2
Temperature range (°C)	0 – 150
Gas compatibility	Inert Gas
Bearing type	686	686	686
Bearing material	SUS440C
Housing material	SUS303
Shaft material	SUS630

Reactive-gas compatible feedthroughs are also available. (Specify application when requesting a quotation or placing an order.)

장비 벽면 또는 플레이트를 관통하여 설치하는 구조입니다. 진공 챔버와 외부 구동부를 연결하면서 회전축 주변의 진공 누설을 차단합니다.

Ø6 – Ø10

Dimensions (mm)

Shaft Diameter	006	010
A	Ø6	Ø10
B	97.5	97.5
C	57.5	57.5
D	M32 × 1.5	M38 × 1.5
E	0.5Dp. × 12Lg. (flat)	3W × 1.8Dp. × 14Lg. (keyway)
F	20	25
J	55	60
K	10	10
P	49	55

Specifications

Model Number	MML006NN	MNF006NN	MML010NN	MNF010NN
Torque capacity (kg·cm)	9.7	9.7	62	62
Vacuum pressure Pa,(Torr)	10⁻⁶, (10⁻⁸)	10⁻⁵, (10⁻⁷)	10⁻⁶, (10⁻⁸)	10⁻⁵, (10⁻⁷)
Leakage rate [He] (Pa·m³/sec)	<10⁻¹²
(Torr·ℓ/sec)	<10⁻¹¹
Pressure capacity [Static] (kg/cm²)	2.5	2	2.5	2
Temperature range (°C)	0 – 150
Gas compatibility	Inert	Active	Inert	Active
Bearing type	627	627	6001	6001
Bearing material	SUS440C
Housing material	SUS303	SUS304	SUS303	SUS304
Shaft material	SUS630

Ø12 – Ø20 (water cooling)

Dimensions (mm)

Shaft Diameter	012	020
A	Ø12	Ø20
B	179	211
C	109	121
D	M25 × 1.5	M30 × 1.5
E (keyway)	4W × 2.5Dp. × 20Lg.	6W × 3.5Dp. × 25Lg.
F	40	55
J	48	63
K	74	82
L	36.5	40.5

Specifications

Model Number	MTL012NN	MTF012NN	MTL020NN	MTF020NN
Torque capacity (kg·cm)	124	124	615	615
Vacuum pressure Pa,(Torr)	10⁻⁶, (10⁻⁸)	10⁻⁵, (10⁻⁷)	10⁻⁶, (10⁻⁸)	10⁻⁵, (10⁻⁷)
Leakage rate [He] (Pa·m³/sec)	<10⁻¹²
(Torr·ℓ/sec)	<10⁻¹¹
Pressure capacity [Static] (kg/cm²)	2.5	2	2.5	2
Temperature range (°C)	0 – 150
Gas compatibility	Inert	Active	Inert	Active
Bearing type	6002	6002	6005	6005
Bearing material	SUS440C
Housing material	SUS303	SUS304	SUS303	SUS304
Shaft material	SUS630

Tapped bore type model number should change to MF0-000-WN.

플랜지 체결 방식으로 장비에 고정하는 타입입니다. 설치 안정성이 높고 유지보수가 용이하여 산업용 진공 장비와 공정 장비에 폭넓게 적용됩니다.

Dimensions (mm)

Shaft Diameter	006	010	012	020
A	Ø6	Ø10	Ø12	Ø20
B	97.5	119.5	133.5	151.5
C	57.5	69.5	73.5	81.5
D	38	44	48	63
E	0.5Dp. × 12Lg.	3W × 1.8Dp. × 14Lg.	4W × 2.5Dp. × 20Lg.	6W × 3.5Dp. × 25Lg.
F	20	25	30	35
J	80	80	90	105
K	10	10	10	10
L	18	24	27	31
N	PD60/4-□10	PD60/4-□10	PD70/4-□10	PD85/4-□10

Specifications

Model Number	MFL006NN	MFL010NN	MFL012NN	MFL020NN	MFF006NN	MFF010NN	MFF012NN	MFF020NN
Torque capacity (kg·cm)	9.7	62	124	615	9.7	62	124	615
Vacuum pressure Pa,(Torr)	10⁻⁶, (10⁻⁸)	10⁻⁶, (10⁻⁸)	10⁻⁶, (10⁻⁸)	10⁻⁶, (10⁻⁸)	10⁻⁵, (10⁻⁷)	10⁻⁵, (10⁻⁷)	10⁻⁵, (10⁻⁷)	10⁻⁵, (10⁻⁷)
Leakage rate [He] (Pa·m³/sec)	<10⁻¹²
(Torr·ℓ/sec)	<10⁻¹¹
Pressure capacity [Static] (kg/cm²)	2	2	2	2	2.5	2.5	2.5	2.5
Temperature range (°C)	0 – 150
Gas compatibility	Inert	Inert	Inert	Inert	Active	Active	Active	Active
Bearing type	627	6001	6002	6005	627	6001	6002	6005
Bearing material	SUS440C
Housing material	SUS303	SUS303	SUS303	SUS303	SUS304	SUS304	SUS304	SUS304
Shaft material	SUS630

Conflat flange or any other defined configuration may be specified and is available as an option.
Tapped bore for tube fitting is available for high-temperature or high-rotation-speed applications (model number changes to MF0-000-WN).
Shaft length and terminations may be specified by the user.

대형 축경과 높은 토크가 요구되는 중공정 장비용입니다. VAC/ATM 각각 전용 베어링을 적용하여 고하중·고속 회전에서도 안정적인 씰링을 유지합니다.

Dimensions (mm)

Shaft Diameter	020	025	030	040	050
A	Ø20	Ø25	Ø30	Ø40	Ø50
B	255	288	321	357	406
C	135	138	141	157	166
D	85	95	105	125	140
E (keyway)	6W × 3.5Dp. × 50Lg.	7W × 4Dp. × 63Lg.	10W × 5Dp. × 80Lg.	12W × 5Dp. × 90Lg.	14W × 5.5Dp. × 110Lg.
F	60	75	90	100	120
J	145	160	160	185	210
K	18	18	20	22	24
L	48	50	50	55.5	59.5
M	29	29	29	33	33
N	PD120/6-□12	PD135/6-□12	PD135/6-□12	PD160/8-□12	PD185/8-□12

Specifications

Model Number	MFL020WH	MFL025WH	MFL030WH	MFL040WH	MFL050WH
Torque capacity (kg·cm)	616	1066	1706	3413	6106
Vacuum pressure Pa,(Torr)	10⁻⁵, (10⁻⁷)
Leakage rate [He] (Pa·m³/sec)	<10⁻¹²
(Torr·ℓ/sec)	<10⁻¹¹
Pressure capacity [Static] (kg/cm²)	3
Temperature range (°C)	0 – 150
Bearing type (VAC)	7206CDF	7207CDF	7208CDF	7210CDF	7212CDF
Bearing type (ATM)	6205	6206	6207	6009	6211
Bearing material	SUJ2
Housing material	SUS303
Shaft material	SUS630

A coaxial shaft cooling system is available for high-temperature or high-rotational-speed applications.

중앙 관통 구조를 통해 배선, 샤프트, 가스 라인을 함께 통과시킬 수 있는 중공축 도입기입니다. 카트리지 형태로 장비 하우징에 삽입 장착합니다.

Dimensions (mm)

Shaft Diameter	010	020	025	030	040	050	075
A	Ø10	Ø20	Ø25	Ø30	Ø40	Ø50	Ø75
B	78	82.5	88	93	96	98	115
C	64	68.5	74	79	80	82	96
D	48	58	63	73	88	98	137
E	34	44	49	54	69	79	109
F	10	10	10	10	12	12	15

Specifications

Model Number	MTL010CN	MTL020CN	MTL025CN	MTL030CN	MTL040CN	MTL050CN	MTL075CN
Torque capacity (kg·cm)	—
Vacuum pressure Pa,(Torr)	10⁻⁵, (10⁻⁷)
Leakage rate [He] (Pa·m³/sec)	<10⁻¹²
(Torr·ℓ/sec)	<10⁻¹¹
Pressure capacity [Static] (kg/cm²)	3
Temperature range (°C)	0 – 150
Gas compatibility	Inert Gas
Bearing type	16003	6906	6907	6908	6910	6912	6918
Bearing material	SUJ2
Housing material	SUS303
Shaft material	SUS630

G · recommended shaft diameter, H · recommended housing diameter (fine tolerances per drawing).

중공축 구조에 플랜지 장착을 결합한 타입입니다. 플랜지로 장비에 안정적으로 고정하면서 중앙 관통 구조를 활용할 수 있습니다.

Dimensions (mm)

Shaft Diameter	010	020	025	030	040	050	075
A	Ø10	Ø20	Ø25	Ø30	Ø40	Ø50	Ø75
B	78	82.5	88	93	96	98	115
C	64	68.5	74	79	80	82	96
D	51	63	71	78	90	103	143
E	34	44	49	54	69	79	109
F	10	10	10	10	12	12	15
J	90	105	120	120	145	160	210
K	10	10	10	10	10	12	12
L	20	22.5	26	27	27	26.5	33
M	PD70/4-□10	PD85/4-□10	PD100/4-□10	PD100/4-□10	PD120/4-□10	PD135/4-□10	PD185/4-□10

Specifications

Model Number	MFL010CN	MFL020CN	MFL025CN	MFL030CN	MFL040CN	MFL050CN	MFL075CN
Torque capacity (kg·cm)	—
Vacuum pressure Pa,(Torr)	10⁻⁶, (10⁻⁸)
Leakage rate [He] (Pa·m³/sec)	<10⁻¹²
(Torr·ℓ/sec)	<10⁻¹¹
Pressure capacity [Static] (kg/cm²)	3
Temperature range (°C)	0 – 150
Gas compatibility	Inert Gas
Bearing type	16003	6906	6907	6908	6910	6912	6918
Bearing material	SUJ2
Housing material	SUS303
Shaft material	SUS630

Conflat flange is available as an option.
Tapped bore type model number should change to MFL-000-WN.

한쪽 지지 구조 또는 특수 장착 조건에서 사용하는 중공축 도입기입니다. 반응성 가스 대응 씰 구조로 일반 플랜지형 적용이 어려운 장비에 선택합니다.

Dimensions (mm)

Shaft Diameter	020	025	030	040	050
A	Ø20	Ø25	Ø30	Ø40	Ø50
B	123.5	126	130.5	141	147.5
C	109.5	112	116.5	125	131.5
D	78	90	96	106	132
E	44	49	54	67	79
F	10	10	10	12	12
J	120	145	145	160	185
K	10	10	10	12	12
L	14.5	13	14	12	12.5
N	PD100/4-□10	PD120/4-□12	PD120/4-□12	PD135/4-□12	PD160/8-□12

Specifications

Model Number	MFF020CC	MFF025CC	MFF030CC	MFC040CC	MFF050CC
Torque capacity (kg·cm)	—
Vacuum pressure Pa,(Torr)	10⁻⁵, (10⁻⁷)
Leakage rate [He] (Pa·m³/sec)	<10⁻¹²
(Torr·ℓ/sec)	<10⁻¹¹
Pressure capacity [Static] (kg/cm²)	2.5
Temperature range (°C)	0 – 150
Gas compatibility	Reactive Gas
Bearing type	7206CDB	7207CDB	7208CDB	7210CDB	7212CDB
Bearing material	SUJ2
Housing material	SUS304 (SUS316 : Option)
Shaft material	SUS630

Conflat flange is available as an option.
Tapped bore type model number should change to MFL-000-MC.

소형·경량이면서 높은 회전 정밀도와 작은 런아웃을 갖는 이중 동축 구조입니다. 대표 적용 분야는 진공 내 웨이퍼 이송 로봇(SCARA 타입)입니다.

Specifications

Model	MFF012NN
Vacuum pressure Pa,(Torr)	10⁻⁶, (10⁻⁸)
Leakage rate [He] (Pa·m³/sec)	<10⁻¹²
(Torr·ℓ/sec)	<10⁻¹¹
Pressure capacity [Static] (kg/cm²)	2
Temperature range (°C)	0 – 150
Gas compatibility	Reactive Gas
Bearing type	(out) ATM6007, VAC6908 / (in) 6901
Bearing material	SUJ2
Housing material	SUS304
Shaft material	SUS630

높은 강성으로 회전 정밀도와 작은 런아웃을 제공하는 3축 구조입니다. 선택형 알루미늄 하우징으로 조립체 경량화가 가능하며, LCD 대형 유리기판 이송 로봇(Frog arm 타입)에 적용됩니다.

Specifications

Model	MFL200NN
Vacuum pressure Pa,(Torr)	10⁻⁶, (10⁻⁸)
Leakage rate [He] (Pa·m³/sec)	<10⁻¹²
(Torr·ℓ/sec)	<10⁻¹¹
Pressure capacity [Static] (kg/cm²)	2
Temperature range (°C)	0 – 150
Gas compatibility	Inert Gas
Bearing type	(out) 6840 / (in) 6906
Bearing material	SUJ2
Housing material	A2024
Shaft material	SUS630

높은 강성의 3축 동축 스핀들에 50mm 선형 스트로크를 결합한 복합 구동 도입기입니다. Cluster Tool용으로 300mm 웨이퍼, LCD 대형 기판 처리 및 진공 이송 로봇에 적용됩니다.

Specifications

Model	MFF022NN
Vacuum pressure Pa,(Torr)	10⁻⁸, (10⁻⁸)
Leakage rate [He] (Pa·m³/sec)	<10⁻¹²
(Torr·ℓ/sec)	<10⁻¹¹
Pressure capacity [Static] (kg/cm²)	2
Temperature range (°C)	0 – 150
Gas compatibility	Reactive Gas
Bearing type	(L) VAC6814, ATM6816 / (M) VAC6808, ATM6909 / (S) 6804
Bearing material	SUJ2
Housing material	SUS304
Shaft material	SUS630
Bellows stroke	50 mm
Bellows life	OVER 10⁶

고진공·초고진공 환경에서 회전 운동을 전달하기 위한 제품입니다. 저증기압 UHV용 자성유체와 차동 배기 구조로 10⁻⁷ Pa(10⁻⁹ Torr)급 진공을 지원합니다.

Specifications

Model	MSCV-012WC
Vacuum pressure Pa,(Torr)	10⁻⁷, (10⁻⁹)
Leakage rate [He] (Pa·m³/sec)	<10⁻¹²
(Torr·ℓ/sec)	<10⁻¹¹
Pressure capacity [Static] (kg/cm²)	2.5
Temperature range (°C)	0 – 150
Gas compatibility	Inert Gas
Bearing type	7303CDB
Bearing material	SUJ2
Housing material	SUS304
Shaft material	SUS630

Ferrofluid for UHV operation, which has low vapor pressure at high temperature, is used.
The main chamber is protected from bake-out gas by differential pumping.
Baking condition is the same as for a TMP.
The differential pumping line and main pumping line can be unified up to a 10⁻⁹ Torr vacuum level.
The compact equipment can be provided with a simplified seal construction for UHV processing.

씰 유닛에 퍼지 가스 구조를 적용하여 공정가스·오염물의 씰 영역 유입과 증착 축적을 억제합니다. 반응성 가스, CVD, 퍼니스 등 증착이 발생하는 공정에 적합합니다.

Specifications

Model	MSFV-020WC
Vacuum pressure Pa,(Torr)	10⁻⁶, (10⁻⁸)
Leakage rate [He] (Pa·m³/sec)	<10⁻¹²
(Torr·ℓ/sec)	<10⁻¹¹
Pressure capacity [Static] (kg/cm²)	2.5
Temperature range (°C)	0 – 150
Gas compatibility	Reactive Gas
Bearing type	7006CDB
Bearing material	SUJ2
Housing material	SUS304
Shaft material	SUS630

Longer life is realized by installing a purge-gas structure in the seal unit.
This prevents process gas from flowing into the seal area and eliminates deposition near the seal.
Intended for reactive-gas, CVD and furnace applications that generate depositing material.

회전축을 통해 고순도 가스를 공급하거나 배출하는 도입기입니다. 회전 운동을 유지하면서 가스 라인을 연결해야 하는 공정 장비에 적용합니다.

Specifications

Model	MSFH-100NH
Vacuum pressure Pa,(Torr)	10⁻⁶, (10⁻⁸)
Leakage rate [He] (Pa·m³/sec)	<10⁻¹²
(Torr·ℓ/sec)	<10⁻¹¹
Pressure capacity [Static] (kg/cm²)	3.5
Temperature range (°C)	0 – 150
Gas compatibility	Inert Gas
Bearing type	(left) 7015CDB / (right) 6211
Bearing material	SUJ2
Housing material	SUS304
Shaft material	SUS630

Highly purified gas can be supplied into a chamber through this feedthrough.
A typical application is a rotary gas union for light-bulb manufacturing equipment.

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문의사항은 magron@magron.co.kr 로 해주시기 바랍니다.

문의 시 전달하면 좋은 정보

장비 종류 및 공정 조건 (진공도, 온도, 가스 종류)
축 직경 / 회전 속도 / 토크 요구 사항
장착 방식 (관통형 · 플랜지 · 중공축 등)
필요 수량 및 납기

Feedthrough

Vacuum Sealing

Rotary Motion Transfer

Low Particle Generation

Custom Specification

진공 피드스루는 어떤 부품인가요?

Standard Rotary Feedthroughs

Miniature Feedthrough

Standard Type (MML)

Threaded Type (MSL)

Through Hole Mount Feedthroughs

Ø6 – Ø10

Ø12 – Ø20 (water cooling)

Flange Mount Feedthroughs

Heavy Duty Feedthroughs

Hollow Shaft Feedthroughs

Hollow Shaft — Cartridge Type

Hollow Shaft — Flange Mount Type

Hollow Shaft — Cantilevered Seal Type

Multi-Axis & Coaxial

Two Coaxial Type

Three Axis Type

Three Coaxial and Linear Feedthroughs

Special Purpose

Ultra High Vacuum Feedthroughs

Purge Mode Type

Rotary Gas Union

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